ULVAC三相多油回转真空泵

[特点] ● 配备气镇阀、强制润滑机构、防倒油机构。 ●气镇阀去除吸入气体中的水分，防止其溶解在泵油中。 ●进一步追求G系列的性能，提高静音性、安全性和功能性的高端机型。 ●配备多量程通用电机，可应对全球任何电压。 ●CE标志自宣产品、TUV、cTUVus认证产品。

[应用] ● 用于理化实验、分析设备、激光应用设备。 ●真空排气系统，电子显微镜后盖。 ●半导体制造设备、溅射设备、真空蒸镀设备。 ●真空干燥机、冷冻干燥机。

【规格】 ●排气速度（L/min）50/60Hz：200/240 ●极限压力（Pa）：0.67 ●进气口直径：KF-25 ●电源（V）：三相多路 ●噪声级（dB ）：- -使用的油：SMR-100 -宽度 x 总长度 x 高度（毫米）：170 x 513.5 x 240 -尺寸（毫米）：170 x 513.5 x 240

[规格 2] ● 支持一台设备的不同电压

[材料/饰面]
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[套装内容/附件]
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[注意] ● 由于具有高真空范围（10[[-1]] Pa 级），请使用可在高真空下充分使用的接头、容器等。