ULVAC 単相１００Ｖ　ダイアフラム型ドライ真空ポンプ　排気速度６／７

【特長】
ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。

【用途】
吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
分析機器、理化学機器。
半導体検査装置。
デバイス組立。
自動機、包装機。

【仕様】
排気速度(L/min)50/60Hz：6/7
到達圧力(Pa)：6.65×10［［の３乗］］
吸気口径(mm)：Rc1/8
電源(V)：単相100
全幅(mm)：91
全長(mm)：163
全高(mm)：100.6
寸法(mm)：91×163×100.6
電源：単相100V

【仕様２】
一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)
低速低圧用

【材質／仕上】
－

【セット内容／付属品】
－

【注意】
ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。
吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取除く必要があります。